主營:應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng),空芯光纖,超快激光加工系統(tǒng),Bump晶圓測量,3D檢測系統(tǒng)
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Bump高度、直徑、共面性在線檢測
l 凸塊(Bump)高度
l 凸塊(Bump)共面性
l 凸塊(Bump)直徑
多光束共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
如果反射光線的物體表面位于與點光源共軛的位置,那么高速測量是不可能的。只有與單個zj共軛的單一光束測量才能實現(xiàn)。此系統(tǒng)的測量傳感器在zj陣列中擁有超過3百萬個zj點,能夠通過多光束系統(tǒng)實現(xiàn)高速測量。
電議